传感器精度是决定自动化设备测量精度与控制效果的主要因素，线性精度、重复性精度、分辨率是标示位移传感器精度的主要参数。
线性精度(或者非线性精度)，是衡量传感器测量值与实际位移量之间最大偏差的参数，以绝对误差占传感器有效量程的百分比标示。以MPS拉绳位移传感器为例，传感器线性精度0.15%，量程1000mm，传感器最大测量误差为1000mm x 0.15% = 1.5mm。
重复性精度是位移传感器沿着测量行程从相同方向重复测量同一测量点时的显示位置值最大误差。侠义地认为，重复性精度越高，传感器测量数据复现的纪录更高，位置定位准确度更高。
分辨率是指位移传感器测量过程中可以检测到的最小位移变化量，并以输出的方式显示出来。电位计原理直线位移传感器理论无限分辨率，然而在实际使用中，常受采集系统分辨率或者现场噪声大小影响，不可能做到无限小。数字信号输出位移传感器，分辨率则是一个离散值，相当于用来表达输出的所有数据位的二进制位。
理论上来说，具有高线性精度、高重复性精度与高分辨率的位移传感器测量精度更高，适用范围更广。然而，高精度位移传感器造价总是昂贵的，加工难度较大，对环境的因素要求也较高(例如：粉尘、振动、温度、湿度等)，相对恶劣的环境安装使用反倒更容易出现故障或者失效。相对而言，传感器重复性精度与测量稳定性对现场控制效果影响更大，在大部分工程应用中，重复性精度和分辨率往往比线性精度更重要。部分用户会通过数据补偿方法解决传感器线性精度问题。
